ACE auf der Precision Fair 2022: Fokus auf die Halbleiterindustrie

Auch in diesem Jahr wird der Dämpfungsspezialist ACE Stoßdämpfer GmbH aus Langenfeld auf der Precision Fair am 16. und 17. November vertreten sein. Das deutsche Unternehmen wird sich mit Produkten präsentieren, die Schwingungen in Präzisionsprozessen eliminieren. Diese sind besonders in der Halbleiterindustrie von Nutzen.  

Aktive und passive Schwingungsisolierung 

Messmaschinen sind eine heikle Angelegenheit. Kleinste Ungenauigkeiten führen zu unbrauchbaren Ergebnissen. Schwingungen aus der Umgebung, die sich auf das System übertragen können, müssen daher isoliert werden. Wenn es um die perfekte Schwingungsisolierung von Messtischen, Prüfständen und Hochleistungsmaschinen geht, sind die niederfrequenten Komponenten von ACE eine gute Wahl. 

Aktive Dämmsysteme 

Für extrem präzise Anwendungen bietet ACE die aktiven Isolationssysteme ISOTAblA und ISOModA an. Bei ISOTAblA handelt es sich um aktive Tischplattformen; die ISOModA-Produktlinie besteht aus modularen aktiven Isolationselementen. Sie werden typischerweise in vielen High-Tech-Industrien, in der Labor-, Pharma- und Medizintechnik sowie in hochpräzisen Messanwendungen eingesetzt. Mit ISOTablA ist eine aktive Isolation von 0,5 Hz bis 100 Hz möglich. 

Beide Systeme sind einfach zu installieren, in sechs Freiheitsgraden aktiv und verfügen über integrierte Echtzeit-Diagnosetools. Für Anwendungen im Nano- und Subnano-Bereich sind diese aktiven Isolationssysteme besser geeignet als Luftfedern. Die aktiven Systeme verwenden außerdem einen Linearmotor als aktiven Aktor. Dadurch erhöht sich der Hub des aktiven Aktors um etwa den Faktor 3 im Vergleich zu piezoelektrischen Bauteilen, die häufig von Wettbewerbern verwendet werden. 

PAL-Luftfedern 

Für weniger präzise Anwendungen hat ACE die hochwertigen PAL-Luftfederelemente für niedrige Frequenzen im Programm. Diese sind für Bedingungen gedacht, bei denen der Anwender sowohl eine Isolierung von Vibrationen als auch ein konstantes Niveau wünscht. PAL-Systeme sind niveaugesteuerte Luftfedern und reagieren schnell auf Last- und Schwerpunktveränderungen. Sie korrigieren Abweichungen von der voreingestellten Position automatisch. Dabei sind sie in vielen verschiedenen Größen für Tragfähigkeiten von 126 bis 42.000 kg pro Luftfeder erhältlich. 

Reinraum gereinigt 

ACE Stoßdämpfer liefert gereinigte und verpackte hydraulische Stoßdämpfer durch den VDL-Reinraum. Die RGA-geprüften TUBUS-Dämpfer von ACE sind auch in der Halbleiterindustrie weit verbreitet.   

Die ACE Stoßdämpfer GmbH ist auf der Precision Fair in Halle 1 am Stand 335 zu finden. Mehr Informationen unter: www.ace-ace.nl.